台積電中科晶圓十五廠第一期工程已完工，預計明年初量產；第二期工程也已動工預計明年進入量產；第三期工程今（9）日動土，董事長張忠謀親自主持，他強調，晶圓十五廠投資金額將達3000億元，月產能逾10萬片，且可創造8000個工作機會，中科是台積電第3個廠區，晶圓十五廠則是台積電第3個超大型晶圓廠。
張忠謀表示，晶圓十五廠第一期2010年7月動土、今年年中完工裝機並將在明年初開始量產；第二期則在今年年中動工，預計明年進入量產，只要達到量產規模，晶圓十五廠第一期、第二期每年總產值預估可達30億美金，晶圓十五廠第三期未來也可擁有同等規模。
他說，目前晶圓十五廠的員工人數約1400位，隨著晶圓十五廠產能陸續開出，預計可創造8000個優質的工作機會，為台灣的半導體產業培養更多的優秀人才，並可望為台灣及台積公司帶來高附加價值的成長契機。
台積電指出，晶圓十五廠第三期是繼十二廠後第二座具備20奈米製程能力的超大型12吋晶圓廠，也將是台積公司第3座綠色廠房；晶圓十五廠第三期製程技術為20奈米，產能規模為月產4萬片12吋晶圓；產品應用涵蓋應用處理器（Application Processor）、基頻（Baseband）、繪圖處理器（GPU）、中央處理器（CPU）、場域可程式化閘陣列(FPGA)等。
台積電說，晶圓十五廠第三期應用多項污染防治設施與綠色節能概念，廠房設計規劃重點包括製程廢水分為25類，有效回收90%製程用水，利用節水技術達到用水減量62%的目標，全廠耗電量較前期廠房再減少5%。
台積電強調，在中科晶圓十五廠擴建工程持續進行的同時，也密切掌握產業發展趨勢，對竹科晶圓十二廠及南科晶圓十四廠的產能擴充規模與時程做出最佳安排，持續強化競爭力。
台積電中科晶圓十五廠第三期工程動土，由張忠謀親自主持，經濟部長施顏祥、國科會主委李羅權、中科管理局長楊文科等人到場參加。
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